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地  址:廣東肇慶市高要南岸二期開發區上元村

名稱:六氟乙烷      型號:

六氟乙烷C2F6

 

 

 商品詳細介紹

 

 

 A colorless,nonflammable,compressed gas.(一種無色不燃壓縮氣體)

 Formula(分子式):

C2F6

 

 Molecular weight(分子量):

138.01g/mol

 

 Boiling point(沸點):

-78.2℃

-108.76°F

 Melting point(熔點):

-100.7℃

-149.27°F

 Vapor pressure(蒸汽壓):

2965KPa(21.1℃)

430Psia(70°F)

 Specific volume(比容):

0.174m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 

2.8ft3/lb(70°F,14.696psia)

 UN Number(UN號碼):

UN2193

 

 DOT Classification(DOT類別):

2.2(Nonflammable Gas)(不燃性氣體)

 DOT Lable(DOT標簽):

NON-FLAMMABLE GAS(不燃性氣體)

 Grsde(級別):

5N

 

 Purity(純度):

99.999%

 

 

 

 純度規格

 

 Impurity(非組分):

Specification(標準)

 Oxygen(氧):

≤2.0  ppmv

 Nitrogen(氮):

≤8.0  ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):

≤0.5 ppmv

 Carbon Monoxide(一氧化碳):

≤0.5 ppmv

 Other Organics(其他有機物):

≤0.1 ppmv

 Water(水):

≤1.5 ppmv

 Acidity as HF(酸化物,如氟化氫):

≤0.1 ppmv

 

 

 包裝

容積

重量

連接閥門

 小鋼瓶

44L 

43Kg

 CGA660 DISS716

 

 應用:刻蝕氣體/等離子刻蝕

 

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